如何給芯片“洗澡”？

提到國之重器，

你聯想到的是否都是

那些可以“上天入海”的

龐然大物？

然而今天，

小新要給大家講述的這件重器

卻無色無形、微如點滴。

它看上去“不起眼”，

卻是中國芯片產業不可或缺的重要組成。

芯片製造，竟然要“洗澡”！

芯片線路微細至3納米，

僅相當於頭髮絲直徑的兩三萬分之一。

一粒肉眼不可見的塵埃，

一絲微乎其微的雜質，

都可能造成“山崩地裂”的危害，

直接損毀芯片架構，

導致短路、漏電乃至整片晶圓報廢。

因此，在芯片製造的過程中，

往往需經歷數百道清洗工序，

佔據總工序的30%以上。

可以說，

清洗工序是決定芯片良率的關鍵環節。

那麼，

到底應該用什麼來洗滌呢？

普通水？不行。

自來水裏的離子、顆粒、細菌等，

每一樣都是

損壞芯片的“潛在兇手”。

給芯片“洗澡”必須用超純水——

沒有細菌、沒有顆粒、

沒有離子、沒有溶解氣體……

如果用四個字來形容

那便是“極致純淨”。

但是，光洗乾淨還不夠，

無痕乾燥同樣決定芯片成敗。

超純水清洗之後，

接下來就輪到

電子級異丙醇（IPA）登場了。

追求“極致純淨”，到底有多難？

極致純淨，

是電子級異丙醇最重要的特徵。

爲了衡量這種純淨度，

我們需要引入一個概念：

PPM（百萬分之一）。

如果說工業異丙醇的

最高質檢量級PPM

相當於在一個200升的浴缸水中

檢測出一滴墨水，

那麼電子級異丙醇的

最高質檢量級PPT（萬億分之一），

則要從一個體量約等於兩個未名湖的

湖泊中（約爲20萬立方米）

找出那一滴墨水。

從PPM到PPT，

一個字母的差別，

精度要求陡增百萬倍，

方法體系、環境條件、

操作邏輯也需要跟着升級。

長期以來，

因爲極高的技術壁壘，

這種核心“清洗液”的供給

都被國外企業牢牢把控。

不僅價格昂貴，

而且交貨期漫長，

週期長達數月，

更存在被“卡脖子”的斷供風險。

這既是我國芯片產業

自主道路上的一大阻礙，

也是必須克服的挑戰。

打破壟斷！中國石油五十年磨一“劍”

如今，

這一困擾我國芯片產業多年的重大難題

被中國石油錦州石化

依託五十載產業深耕

與迭代升級成功破解。

中國石油錦州石化生產的

G5級電子異丙醇，

作爲芯片乾燥脫水的關鍵溶劑，

能完美置換晶圓表面水分，

實現無水痕、無殘留的極致乾燥，

且溫和無腐蝕，

完美適配7nm、14nm先進製程，

並可支撐更先進工藝節點。

純度要求達到99.9999%，

金屬雜質含量控制在萬億分之一級別，

容不下任何一絲瑕疵，

成爲當前芯片清洗界可靠的“主力軍”。

早在1976年，

中國石油錦州石化

便建成了當時亞洲最大、

國內唯一的異丙醇生產基地。

以超六成的市場份額引領國內行業發展，

並主導制定了異丙醇國家標準。

“十四五”規劃末期，

錦州石化G3/G5級異丙醇裝置建成投產，

成爲國內第一家實現

高端電子級異丙醇

規模化生產的央企。

作爲國內唯一擁有

專業異丙醇應用技術研發隊伍的企業，

中國石油錦州石化實現了原料自給，

並擁有完全自主知識產權與研發核心技術。

尤其值得矚目的是，

這支專業異丙醇應用技術研發隊伍

——電子級IPA生產團隊，

是一支平均年齡僅26歲的年輕團隊。

中國石油錦州石化將

最核心的裝置託付給了

這羣剛走出校門的年輕人。

沒有經驗可循，

便在建設中“摸爬滾打”；

沒有規範可依，

便在試生產中歸納沉澱。

短短几年間，

他們與裝置共同成長，

淬鍊成爲支撐大國產業的中堅骨幹。

如今，中國石油錦州石化生產的

G5級電子異丙醇

已實現穩定供貨、出口海外，

關鍵指標長期穩定優於國際行業標準，

在全球高端電子化學品市場

亮出了中國實力。

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責任編輯丨陳伊南

校對丨陳婷 程鏡睿

執行主編丨張灝然

內容來源丨中國石油